Высокочастотные электротехнологии. Состояние, проблемы, перспективы (Часть 2)
Первые годы развития высокочастотной электротехники характеризовались использованием особенностей воздействия высокочастотных электромагнитных полей на проводящие материалы. После организации ВНИИТВЧ были начаты исследования процессов взаимодействия высокочастотных электромагнитных полей и непроводящих материалов [1]. Результаты исследований были использованы при разработке технологий и оборудования для производства композиционных материалов, выращивания ценных полупроводниковых кристаллов. Во ВНИИТВЧ были созданы технологии и оборудование для плазменной обработки материалов, ультразвуковые машины.
Ключевые слова: диэлектрический нагрев и сварка непроводящих материалов, очистка и выращивание особо чистых кристаллов, плазменные технологии, ультразвуковые процессы
