На примере технологии вакуумного нанесения композиционных покрытий рассматривается класс многостадийных циклических технологических процессов и предлагается подход к организации системы отказоустойчивого управления. Предложен формализм описания диагностических признаков неисправностей с учетом степени влияния их последствий на процесс, сформирован состав функций супервизора диагностического уровня, накапливающего информацию о развитии неисправностей и формирующего свои составляющие в управляющих воздействиях с учетом результатов текущей диагностики блоков и подсистем, цены процесса и других факторов. Предложена структура системы отказоустойчивого управления рассматриваемым процессом.
Ключевые слова: технологический процесс, неисправность, диагностический признак, отказоустойчивое управление, супервизор, вакуумная установка, композиционные покрытия