Светодиодные чипы для производства высокоэффективных белых светодиодов
В настоящей работе рассмотрены AlGaInN светодиодные чипы, предназначенные для производства высокоэффективных мощных белых светодиодов. Приведены основные конструкции светоизлучающих кристаллов, а также рассмотрены базовые стадии их изготовления. Обсуждены основные проблемы, возникающие при конструировании чипов и разработке технологии формирования отражающих омических контактов и меза-структур, и предложены пути их решения. Приведены основные электрооптические параметры разработанных светодиодов.
Ключевые слова: AlGaInN гетероструктуры, светодиоды, flip-chip кристаллы, отражающие контакты, наноразмерные слои ITO
