Ильин Сергей Юрьевич
![](assets/images/authors/ilin-syu.jpg)
к. т. н., старший научный сотрудник, Инжиниринговый центр микро-технологии и диагностики (ИЦ ЦМИД), СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
к. т. н., старший научный сотрудник, Инжиниринговый центр микро-технологии и диагностики (ИЦ ЦМИД), СПбГЭТУ «ЛЭТИ»