Ильин Сергей Юрьевич
к. т. н., старший научный сотрудник, Инжиниринговый центр микро-технологии и диагностики (ИЦ ЦМИД), СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
к. т. н., старший научный сотрудник, Инжиниринговый центр микро-технологии и диагностики (ИЦ ЦМИД), СПбГЭТУ «ЛЭТИ»